美國eLux安裝新型巨量轉(zhuǎn)移工具，降低Micro LED生產(chǎn)成本

    4月19日，美國Micro LED巨量轉(zhuǎn)移關(guān)鍵技術(shù)廠商eLux宣布在臺(tái)灣地區(qū)的Micro LED原型工廠安裝了一款新型自動(dòng)流體組裝工具，可實(shí)現(xiàn)對10個(gè)15英寸的顯示面板進(jìn)行全自動(dòng)卡匣式流體組裝。

    新型流體組裝工具能夠最大程度降低Micro LED巨量轉(zhuǎn)移制程的成本，并且容量可擴(kuò)展，能夠再添加兩個(gè)額外的模組。

自動(dòng)流體組裝工具

    eLux已采用這款新工具生產(chǎn)出一個(gè)12.3英寸的Micro LED顯示器，搭載了518400顆GaN Micro LED，10分鐘內(nèi)完成組裝，換言之，相當(dāng)于轉(zhuǎn)移速度為每小時(shí)310萬顆Micro LED。

    此外，組裝、清潔、重復(fù)利用及烘干等每個(gè)環(huán)節(jié)都經(jīng)過自動(dòng)檢測，以優(yōu)化產(chǎn)量，提高良率。

12.3英寸Micro LED顯示器

    eLux表示，該Micro LED顯示器的自然良率達(dá)99.987%，518400顆Micro LED中，缺陷的有34顆，其中33顆可通過激光雷射（Laser）修復(fù)。這意味著eLux的Micro LED生產(chǎn)良率正在接近百萬分之一，也接近商業(yè)電視廠商所要求的質(zhì)量水平。除此之外，結(jié)合檢測和選定等工藝，缺陷率有機(jī)會(huì)進(jìn)一步降低。

    據(jù)介紹，eLux獨(dú)有的流體組裝工藝，能夠?qū)�Micro LED轉(zhuǎn)移至目標(biāo)基板上。具體而言，是以液體為載體，將Micro LED芯片運(yùn)送至TFT背板上每個(gè)像素當(dāng)中預(yù)留的位置，轉(zhuǎn)移過程會(huì)使用比像素?cái)?shù)量更多的Micro LED，組裝后多余的Micro LED及流體可反復(fù)回收利用。

    經(jīng)由Micro-PL及制程缺陷光學(xué)檢測，僅將Micro LED良品收集至液體中。與最常見的取放及雷射轉(zhuǎn)移方案相比，耗材使用較少且成本較低。在轉(zhuǎn)移設(shè)備上及轉(zhuǎn)移過程上，eLux流體組裝設(shè)備不需要精密的對位控制，因此設(shè)備建置成本相對低廉。

    據(jù)了解，eLux成立于2016年，是從美國夏普實(shí)驗(yàn)室分拆出來的初創(chuàng)公司，致力于推動(dòng)Micro LED生產(chǎn)技術(shù)的商用化。2016年，鴻海集團(tuán)入主夏普，并在2017年成為Micro LED新創(chuàng)公司eLux的大股東。

    2019年，eLux與鴻海集團(tuán)在Micro LED顯示器研發(fā)方面取得了突破。當(dāng)時(shí)，eLux向LEDinside展示了12英寸全彩化Micro LED顯示器。

    這款顯示器采用主動(dòng)式LTPS背板驅(qū)動(dòng)方案，像素密度為42 PPI，顯示亮度為1,000 nits以上。eLux表示，已突破以往單色顯示技術(shù)門檻，可實(shí)現(xiàn)RGB全彩化顯示，并搭配自家獨(dú)特的流體組裝方案，大幅減少制造成本。

    業(yè)界皆知，巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)是Micro LED生產(chǎn)過程中最大的瓶頸問題之一，巨量轉(zhuǎn)移制程的效率和良率問題對于整個(gè)生產(chǎn)環(huán)節(jié)來說至關(guān)重要。

    現(xiàn)價(jià)段，巨量轉(zhuǎn)移技術(shù)包括流體組裝、靜電吸附+相變化轉(zhuǎn)移、凡得瓦力轉(zhuǎn)印、電磁力轉(zhuǎn)移、頂針對位轉(zhuǎn)移、激光轉(zhuǎn)移、滾軸轉(zhuǎn)寫等不同方式，可應(yīng)對不同的客戶需求。

    如eLux所言，流體組裝方式可以解決Micro LED外延片波長不均勻的問題，避免顯示屏出現(xiàn)馬賽克現(xiàn)象，有效提升了Micro LED外延片的利用率，降低制造成本。因此，在推進(jìn)Micro LED商業(yè)化量產(chǎn)的道路上，流體組裝方式不失為一個(gè)較佳的選擇。當(dāng)然，其他轉(zhuǎn)移技術(shù)也在不斷改良和突破中，于Micro LED產(chǎn)業(yè)而言，都是利好消息。