BOE京東方氧化物半導(dǎo)體顯示技術(shù)取得重要突破

    隨著智慧家庭客廳娛樂、商業(yè)賽事直播等需求的增長，超大尺寸、高分辨率及高刷新率的顯示屏備受各大廠商的關(guān)注，半導(dǎo)體顯示性能的提升面臨一場革新，其中背板的陣列驅(qū)動是核心技術(shù)之一。

    憑借多年技術(shù)積累，京東方已在氧化物半導(dǎo)體顯示技術(shù)領(lǐng)域取得重要突破，攻克了銅（Cu）易擴(kuò)散、易氧化和易鉆刻等業(yè)界難題，在業(yè)內(nèi)率先實現(xiàn)了銅互連堆疊結(jié)構(gòu)的量產(chǎn)，及高刷新率、高分辨率、低功耗氧化物顯示技術(shù)集成，打破了國外壟斷，在行業(yè)內(nèi)持續(xù)推出低功耗、超窄邊、500Hz+電競顯示屏、超大尺寸 8K Oxide 120Hz、可變頻刷新率顯示等一系列高端技術(shù)和產(chǎn)品。同時在高遷移率30+cm2/Vs 氧化物技術(shù)研發(fā)方面也有很大突破，為后續(xù)高端產(chǎn)品的性能提升奠定了技術(shù)基礎(chǔ)。

京東方13.3英寸氧化物 Full In Cell UHD超窄邊框顯示屏

    氧化物半導(dǎo)體顯示技術(shù)具備遷移率高、關(guān)態(tài)電流低、制程工藝簡單、可大尺寸化等優(yōu)點，能夠滿足未來產(chǎn)品高品質(zhì)提升和降低能耗的雙重需求，已成為技術(shù)和市場發(fā)展的必然趨勢。然而，在氧化物技術(shù)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用上，傳統(tǒng)的氧化物薄膜微結(jié)構(gòu)在偏壓應(yīng)力、光照、大電流下器件性能衰減等不穩(wěn)定性問題，以及銅工藝與氧化物工藝匹配問題，是亟待半導(dǎo)體顯示業(yè)界解決的普遍難題。

    京東方創(chuàng)造性研發(fā)出銅擴(kuò)散阻擋技術(shù)，提出獨(dú)有的氮氧平衡理論、界面修復(fù)理論，同時產(chǎn)學(xué)研聯(lián)合，在材料、器件結(jié)構(gòu)和原理上均實現(xiàn)了突破，解決了氧化物半導(dǎo)體顯示技術(shù)的量產(chǎn)難題，在國內(nèi)率先實現(xiàn)量產(chǎn)。同時集成柵驅(qū)動電路嵌入陣列基板、觸控驅(qū)動的集成化技術(shù)、高透過率的薄膜光學(xué)模型等，既實現(xiàn)了產(chǎn)品性能提升，又實現(xiàn)了從傳統(tǒng)非晶硅TFT向氧化物導(dǎo)體顯示的技術(shù)升級。開拓了一條低碳、綠色的產(chǎn)業(yè)和產(chǎn)品升級路線。

    京東方新型氧化物半導(dǎo)體顯示技術(shù)的“硬核”創(chuàng)新，主要體現(xiàn)在以下四個方面：

01

材料及器件新突破

    京東方通過設(shè)計獨(dú)有的銅互連疊層布線氧化物新型堆疊結(jié)構(gòu)，攻克了Cu易擴(kuò)散、易氧化和易鉆刻等業(yè)界難題。掌握了自主高量產(chǎn)性的Cu緩沖層技術(shù)，在業(yè)內(nèi)率先實現(xiàn)銅互連堆疊結(jié)構(gòu)的氧化物量產(chǎn)，并在京東方合肥、重慶、南京、成都等六條量產(chǎn)線實現(xiàn)規(guī)�；�量產(chǎn)。

02

獨(dú)創(chuàng)性的理論新突破

    京東方率先提出氮氧平衡理論和界面修復(fù)理論，實現(xiàn)了氧化物特性和良率可控。通過氧化物器件中的氮氧缺陷（DNO）控制和有源層界面刻蝕修復(fù)技術(shù)，解決了由于溝道界面氧空位（Vo）缺陷和摻雜缺陷引起的Vth負(fù)偏問題，亮點不良發(fā)生率大幅降低。

03

顯示性能全面提升

    京東方創(chuàng)新性地提出了柵極驅(qū)動電路集成模型，首次使用直流去噪模式，功耗降低15% ，信賴性提升400%，并引入整體復(fù)位信號，解決了GOA末行失效問題。在量產(chǎn)產(chǎn)品中首次提出并應(yīng)用TFT散熱設(shè)計，GOA壽命提升一倍以上，實現(xiàn)了全尺寸氧化物產(chǎn)品覆蓋。

04

功能集成業(yè)內(nèi)領(lǐng)先

    設(shè)計高透疊層模型和高透動態(tài)補(bǔ)償柱狀隔墊物方案、開發(fā)源極驅(qū)動信號多路轉(zhuǎn)化技術(shù)（MUX）、氧化物觸控集成（Oxide Full In Cell）技術(shù)和智能同步驅(qū)動（Smart Sync Driving）充電補(bǔ)償方案，實現(xiàn)了高刷新率、高分辨率氧化物顯示技術(shù)集成，在業(yè)內(nèi)率先實現(xiàn)了110英寸8K 120Hz氧化物GOA量產(chǎn)。

京東方 110英寸 Oxide 8K 120Hz 顯示屏

    基于強(qiáng)大的技術(shù)創(chuàng)新力賦能，京東方在半導(dǎo)體氧化物顯示技術(shù)在量產(chǎn)產(chǎn)品形態(tài)上的分布，從手機(jī)產(chǎn)品到超大的110英寸的電視產(chǎn)品，從10 Hz的低頻驅(qū)動產(chǎn)品到500Hz+的高頻驅(qū)動產(chǎn)品，從非觸屏到集成度更高的Full In Cell觸屏技術(shù)，基本實現(xiàn)了主流市場產(chǎn)品的全覆蓋，引領(lǐng)了全球半導(dǎo)體顯示行業(yè)的發(fā)展。

京東方 27英寸氧化物 FHD 500Hz+顯示屏

    未來，京東方將秉承“屏之物聯(lián)”創(chuàng)新之路，不斷提升半導(dǎo)體顯示性能，大力推進(jìn)氧化物技術(shù)搭配低頻驅(qū)動技術(shù)的普及應(yīng)用，賦能綠色經(jīng)濟(jì)，不斷提升顯示產(chǎn)品的能效，持續(xù)為用戶推出更美、更節(jié)能的顯示產(chǎn)品，引領(lǐng)顯示產(chǎn)業(yè)為節(jié)能減排和“碳達(dá)峰”做出重要貢獻(xiàn)。