業(yè)界首創(chuàng)——非破壞性SiC缺陷檢測(cè)系統(tǒng)可省巨額成本并提高產(chǎn)出

    半導(dǎo)體測(cè)試解決方案專業(yè)品牌蔚華科技（TWSE: 3055）攜手旗下數(shù)字光學(xué)品牌南方科技，共同推出業(yè)界首創(chuàng)的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，采用先進(jìn)非線性光學(xué)技術(shù)對(duì)SiC襯底進(jìn)行全片掃描，找出襯底內(nèi)部的致命性晶體缺陷，用以取代現(xiàn)行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測(cè)方式，可提升產(chǎn)量并有助于改善制程。若以每個(gè)SiC晶錠需蝕刻2片襯底來(lái)計(jì)算，JadeSiC-NK可為具有100個(gè)長(zhǎng)晶爐的襯底廠省下每年5600萬(wàn)因蝕刻而損耗的成本。

    01

    需求迅速爆發(fā) SiC襯底與組件供不應(yīng)求

    唯KOH是高成本痛點(diǎn)

    在現(xiàn)今環(huán)境永續(xù)意識(shí)抬頭的全球趨勢(shì)下，許多國(guó)家已制定電動(dòng)車的階段性政策目標(biāo)，SiC芯片需求迅速爆發(fā)，尤其用于生產(chǎn)電動(dòng)汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導(dǎo)體組件，供給量遠(yuǎn)遠(yuǎn)不及需求。

    第三代半導(dǎo)體的襯底材料質(zhì)量決定下游芯片的可靠度及性能優(yōu)劣，但SiC長(zhǎng)晶速度較慢，且襯底晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進(jìn)行抽樣檢測(cè)，使得SiC芯片制程成本居高不下，目前全球主要襯底廠皆積極投資產(chǎn)能擴(kuò)充并改善制程，加速產(chǎn)業(yè)布局以搶攻市占率。襯底廠與組件廠若能在制程中對(duì)材料做全面非破壞性檢測(cè)，不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學(xué)溶液使用量，更能及早發(fā)現(xiàn)問(wèn)題，進(jìn)而有效改善制程、提升良率，進(jìn)而在第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)中展現(xiàn)絕佳優(yōu)勢(shì)。

    蔚華科與旗下南方科技推出的非破壞性SiC缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，采用先進(jìn)非線性光學(xué)技術(shù)對(duì)SiC基板進(jìn)行全片掃描，找出襯底內(nèi)部致命性晶體缺陷，以取代現(xiàn)行高成本的破壞性KOH（氫氧化鉀）蝕刻檢測(cè)方式。

    02

    JadeSiC-NK以非線性光學(xué)檢測(cè)取代現(xiàn)行

    破壞性KOH蝕刻  可降低成本提高產(chǎn)能

    南方科技總經(jīng)理王嘉業(yè)表示，目前市場(chǎng)上的光學(xué)技術(shù)只能檢測(cè)表面非晶體缺陷，JadeSiC-NK系統(tǒng)采用先進(jìn)的非線性光學(xué)技術(shù)，可對(duì)全片襯底表面到特定深度進(jìn)行掃描，反應(yīng)晶體結(jié)構(gòu)信息，提供晶體缺陷密度及其分布狀況，讓客戶有效掌握襯底質(zhì)量，未來(lái)生產(chǎn)出的組件質(zhì)量與效能也能更加穩(wěn)定。

    王嘉業(yè)進(jìn)一步說(shuō)明，JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測(cè)系統(tǒng)專注在穩(wěn)定且有效地找出襯底中的致命性晶體缺陷（BPD, TSD, MicroPipe, Stacking Fault），相較現(xiàn)行將SiC晶錠切片后取上下二片襯底進(jìn)行檢測(cè)的KOH蝕刻方式，可大幅節(jié)省檢測(cè)時(shí)間與襯底成本。以每個(gè)長(zhǎng)晶爐每月產(chǎn)出四個(gè)晶錠為例，采用JadeSiC-NK后，每個(gè)晶錠可省下二片襯底成本（每片6寸襯底以800美元計(jì)），因此可推估一個(gè)長(zhǎng)晶爐每年可省下人民幣56萬(wàn)元，若是具有100個(gè)長(zhǎng)晶爐的襯底廠，一年即可省下人民幣5600萬(wàn)元！此外，JadeSiC-NK也可針對(duì)同一個(gè)晶錠進(jìn)行100%的晶圓檢查，進(jìn)行詳細(xì)的晶錠分析和批次追踨分析，協(xié)助客戶在高技術(shù)門檻的第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)加速制程及產(chǎn)量?jī)?yōu)化。

    陽(yáng)明交通大學(xué)光電工程學(xué)系講座教授郭浩中表示，蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng)，將非線性光學(xué)技術(shù)應(yīng)用在第三代半導(dǎo)體的檢測(cè)分析，有助突破目前業(yè)界在量產(chǎn)及制程改善的技術(shù)瓶頸，對(duì)于產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展提供極大推力，期盼此系統(tǒng)能以更有效更穩(wěn)定的檢測(cè)方法，建立業(yè)界SiC襯底檢測(cè)標(biāo)準(zhǔn)，成為產(chǎn)業(yè)界非線性光學(xué)技術(shù)的領(lǐng)航品牌，引領(lǐng)市場(chǎng)應(yīng)用持續(xù)創(chuàng)新及突破。

    蔚華科技與南方科技共同推出業(yè)界首創(chuàng)JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，協(xié)助第三代半導(dǎo)體客戶節(jié)省成本并提高產(chǎn)出

    03

    從設(shè)備代理到自有產(chǎn)品

    跨足光學(xué)檢測(cè)領(lǐng)域 蔚華科前景可期

    蔚華科技總經(jīng)理?xiàng)顮d州表示，考慮經(jīng)銷代理的不穩(wěn)定性及追求更好的獲利結(jié)構(gòu)，蔚華不斷加強(qiáng)投資自有產(chǎn)品開(kāi)發(fā)以求推出更貼近客戶需求的解決方案，此次透過(guò)并購(gòu)南方科技，加速自有產(chǎn)品的發(fā)展進(jìn)程，讓蔚華從半導(dǎo)體封測(cè)設(shè)備跨足光學(xué)檢測(cè)，首先鎖定極具前景的第三代半導(dǎo)體材料缺陷檢測(cè)，對(duì)客戶、員工及投資人來(lái)說(shuō)都將是非常振奮人心的新局。

    楊燿州進(jìn)一步指出，蔚華與南方科技自經(jīng)銷合作以來(lái)就秉持共同成長(zhǎng)、互相成就的初心，成立先進(jìn)光學(xué)材料檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室讓獨(dú)特的光學(xué)檢測(cè)技術(shù)更快進(jìn)入業(yè)界應(yīng)用，透過(guò)客戶的反復(fù)驗(yàn)證，進(jìn)而調(diào)整產(chǎn)品規(guī)格以滿足客戶需求。除了將非線性光學(xué)技術(shù)應(yīng)用在本次推出的JadeSiC-NK外，未來(lái)也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、硅光子等先進(jìn)光學(xué)檢測(cè)技術(shù)的商業(yè)化，持續(xù)加大研發(fā)能量有效整合集團(tuán)資源，發(fā)揮綜效。

    光電科技工業(yè)協(xié)進(jìn)會(huì)董事長(zhǎng)邰中和則表示，非常樂(lè)見(jiàn)兩家臺(tái)灣企業(yè)透過(guò)互補(bǔ)雙贏的結(jié)合產(chǎn)生綜效，更為產(chǎn)業(yè)創(chuàng)造巨大價(jià)值。蔚華與南方科技推出的JadeSiC-NK系統(tǒng)是極具指針性的技術(shù)突破，不但對(duì)全球第三代半導(dǎo)體業(yè)來(lái)說(shuō)是可以大幅降低成本并增加產(chǎn)能的革命性產(chǎn)品，更能讓全球看見(jiàn)蔚華與南方科技在光學(xué)領(lǐng)域的技術(shù)實(shí)力，在未來(lái)蓬勃發(fā)展的第三代半導(dǎo)體市場(chǎng)扮演關(guān)鍵角色。

    蔚華科與旗下南方科技發(fā)表業(yè)界首創(chuàng)非破壞性SiC缺陷檢測(cè)系統(tǒng)，搶攻第三代半導(dǎo)體檢測(cè)分析市場(chǎng)（左起：蔚華科技總經(jīng)理 楊燿州、蔚華科技董事長(zhǎng) 秦家騏、光電科技工業(yè)協(xié)進(jìn)會(huì)董事長(zhǎng) 邰中和、技嘉科技董事長(zhǎng)葉培城、南方科技董事長(zhǎng)陳怡然、南方科技總經(jīng)理 王嘉業(yè)）

    關(guān)于蔚華科技

    蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區(qū)半導(dǎo)體封測(cè)解決方案專業(yè)品牌，擁有先進(jìn)的全方位解決方案及產(chǎn)品，提供半導(dǎo)體各個(gè)制程與不同產(chǎn)品的測(cè)試、封裝、檢測(cè)、驗(yàn)證等設(shè)備銷售、應(yīng)用工程與客戶服務(wù)需求，合作伙伴包括NI, Osai, SEMICS, AFORE, ERS, Hamamatsu, ShibaSoku, Southport, TASMIT, TESCAN, Toray Engineering, Turbodynamics等全球多家半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)導(dǎo)品牌。蔚華集團(tuán)以專業(yè)分工，提供半導(dǎo)體、電子制造、通訊及車用電子等科技產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量的整合解決方案。蔚華科技成立于1987年，總部位于臺(tái)灣新竹，于上海、蘇州、深圳、成都、高雄皆有服務(wù)據(jù)點(diǎn)。更多訊息請(qǐng)瀏覽公司官網(wǎng) www.spirox.com。

    關(guān)于南方科技

    南方科技成立于2014年8月，創(chuàng)辦團(tuán)隊(duì)集合了光學(xué)、材料、物理、信息等跨領(lǐng)域人才，將新穎的光學(xué)設(shè)計(jì)觀念導(dǎo)入光學(xué)工程領(lǐng)域。透過(guò)先進(jìn)光學(xué)簡(jiǎn)單化、模塊化、數(shù)字化的核心理念（光學(xué)模塊化、數(shù)字化、軟件化的核心理念，讓艱深的光學(xué)運(yùn)用更為友善及簡(jiǎn)單），使研究人員專注在研究開(kāi)發(fā)工作，改善實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)觀念、提升研究效率、縮短研發(fā)時(shí)程、揮灑研發(fā)創(chuàng)意，加速研究與產(chǎn)業(yè)技術(shù)發(fā)展的進(jìn)程。南方科技以『5D顯微術(shù)』與『數(shù)字光學(xué)』兩大核心技術(shù)為基礎(chǔ)，將嶄新的光學(xué)觀念與技術(shù)導(dǎo)入先進(jìn)材料分析、生醫(yī)影像、顯微3D光學(xué)檢測(cè)與數(shù)字光學(xué)應(yīng)用四大應(yīng)用領(lǐng)域。在不同的應(yīng)用領(lǐng)域，南方致力于研發(fā)與創(chuàng)新，深入了解行業(yè)痛點(diǎn)并且專注解決關(guān)鍵問(wèn)題。更多訊息請(qǐng)瀏覽公司官網(wǎng) www.southport.com.tw。