意法半導(dǎo)體 開發(fā)下一代光學(xué)MEMS產(chǎn)品

    橫跨多重電子應(yīng)用領(lǐng)域、領(lǐng)先全球的半導(dǎo)體供應(yīng)商意法半導(dǎo)體(STMicroelectronics；ST；紐約證券交易所代碼：STM)宣布將擔(dān)任Lab4MEMS II專案負(fù)責(zé)人。

    Lab4MEMS II是以第一代Lab4MEMS專案(始于2013年4月)的成功經(jīng)驗為基礎(chǔ)而擴展的第二代專案計畫，主要研究項目是集成MEMS及微光學(xué)(Micro-optics)的微光機電系統(tǒng)(Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems；MOEMS)，該系統(tǒng)可透過機械、光學(xué)及電子的集成化系統(tǒng)偵測或控制光學(xué)訊號，并保留了原專案為日后升級研發(fā)的下一代MEMS元件的試產(chǎn)線。

    下一代的MEMS元件搭配壓電(piezoelectric)或磁性材料及3D封裝等先進技術(shù)，可大幅強化產(chǎn)品的性能表現(xiàn)。如同第一代專案，Lab4MEMS II同樣是由納米電子產(chǎn)業(yè)公私合營組織歐洲納米科技方案咨詢委員會(European Nanoelectronics Initiative Advisory Council；ENIAC)合作組織(Joint Undertaking；JU)所發(fā)起。

    Lab4MEMS II是耗資2,600萬歐元(3,000萬美元)的專案計畫，合作組織橫跨9個歐洲國家、含括20個工業(yè)、學(xué)術(shù)及科研組織。憑借第一代Lab4MEMS專案所打下的成功基礎(chǔ)，Lab4MEMS II專案委托意法半導(dǎo)體擔(dān)任專案協(xié)調(diào)負(fù)責(zé)人，為研究發(fā)展提供完整的制造、技術(shù)及組織服務(wù)，引領(lǐng)歐洲微光機電系統(tǒng)的研究發(fā)展，站穩(wěn)歐洲MEMS產(chǎn)業(yè)在世界領(lǐng)先的地位。

    意法半導(dǎo)體擁有1,000多項MEMS專利，出貨量已突破80億顆，自有產(chǎn)能的日產(chǎn)量超過400萬顆，這些傲人的成績讓意法半導(dǎo)體成為歐洲MEMS專案負(fù)責(zé)人的最佳人選。

    Lab4MEMS II專案的主要研究項目是利用微光學(xué)與標(biāo)準(zhǔn)微加工技術(shù)進行設(shè)計、制造及測試各種元件，包括光學(xué)切換器(optical switche)、微反射鏡(micro-mirror)陣列、光交換連結(jié)器(optical cross-connect)、雷射器、微透鏡(micro lenses)，以縮減元件尺寸，實現(xiàn)更先進的光學(xué)系統(tǒng)。

    微光機電系統(tǒng)是一個可用來研發(fā)未來高價值商用產(chǎn)品的理想平臺，例如光學(xué)切換器、微反射鏡元件及動態(tài)顯示器(dynamic display)、雙穩(wěn)態(tài)(bi-stable)裝置、光學(xué)快門(optical shutter)，這些光學(xué)元件皆可用于微型投影機、雷射微型掃描機、新一代人機接口以及微型光譜儀(micro-spectrometer)。

    這項專案以實現(xiàn)最佳化的單軸雙反射鏡(dual single-axis mirror)制程為目標(biāo)，并將致力于研發(fā)雙軸單反射鏡的各種應(yīng)用可能。

    Lab4MEMS II是ENIAC JU所簽定的一個關(guān)鍵實現(xiàn)技術(shù)(Key Enabling Technologies；KET)的試產(chǎn)專案，旨在于開發(fā)對社會影響重大的技術(shù)和應(yīng)用領(lǐng)域。

    意法半導(dǎo)體歐洲研發(fā)與公共事務(wù)部專案經(jīng)理Roberto Zafalon表示：「ENIAC JU研究專案的宗旨與意法半導(dǎo)體運用科技提高人們生活質(zhì)量的承諾完全一致，微光機電系統(tǒng)是一項很有前景的多功能技術(shù)，能夠使關(guān)鍵的光學(xué)系統(tǒng)小型化，使協(xié)會、ENIAC成員國在內(nèi)的專案成員與利害關(guān)系人受益。我們期望開發(fā)成果最終可轉(zhuǎn)化為長期的市場成長和高價值的知識型就業(yè)機會，進一步促使經(jīng)濟繁榮并造福社會�！�

    Lab4MEMS II的試產(chǎn)線將擴大意法半導(dǎo)體Agrate Brianza的200 mm晶圓廠產(chǎn)能，并在現(xiàn)有技術(shù)中增加光學(xué)技術(shù)。此外，該生產(chǎn)線還有助于意法半導(dǎo)體提升這些策略性技術(shù)的實際研發(fā)經(jīng)驗，同時集成了科研能力與各種微型智能系統(tǒng)芯片及納米系統(tǒng)芯片的研發(fā)能力。不僅如此，該專案還將評估未來芯片升級到300mm的潛在優(yōu)勢和影響。

    ENIAC JU是一個公私合營的產(chǎn)業(yè)學(xué)術(shù)聯(lián)盟，成員包括ENIAC成員國、歐盟和歐洲納米電子技術(shù)研究協(xié)會(Association for European Nanoelectronics Activities；AENEAS)，目前該組織透過競標(biāo)的形式為其研發(fā)專案提供大約18億歐元的研發(fā)經(jīng)費。意法半導(dǎo)體負(fù)責(zé)的Lab4MEMS II專案于2013年秋季得標(biāo)，2014年11月開始運行。